廣電計量提供覆蓋Si、SiN、LiNbO?等材料體系的硅光芯片全流程測試服務，功能單元包含硅光芯片、MPD、Heater、MZI、光波導及激光器等。測試項目涵蓋耦合損耗、調(diào)制效率、傳輸損耗、帶寬、電阻、暗電流、響應度、眼圖、模斑等參數(shù)測試，支持批量篩選與定制化方案；同時具備HTOL、HTRB、THB等老煉及可靠性驗證能力。作為工信部“面向集成電路、芯片產(chǎn)業(yè)的公共服務平臺"，廣電計量是國內(nèi)完成激光發(fā)射器、探測器全套AEC-Q102車規(guī)認證的前沿第三方檢測機構(gòu)，可依據(jù)GR-468及客戶委托標準，提供從研發(fā)驗證到量產(chǎn)篩選的一站式技術(shù)支撐。

服務背景

在半導體制造領(lǐng)域，材料表面納米級的化學污染、氧化及元素偏析問題，已成為影響器件電性能、可靠性和工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵瓶頸。

主要應用包括:

·通過元素含量/價態(tài)對比封裝基板表面工藝處理效果

·通過元素含量/價態(tài)對比器件是否受到污染

測試案例

封裝基板通過不同plasma處理方式后表面元素對比

正常線纜與失效線纜元素對比